Terminam "attīrīšana" ir sena vēsture ķīniešu valodā, kas sākotnēji nozīmē "padarīt tīru un tīru", un tas var apzīmēt visus procesus un tehnoloģijas piemaisījumu noņemšanai un piesārņojuma likvidēšanai. Atbilstošie angļu valodas termini ietver "attīrīšana" (uzsverot tīrību) un "clean" (uzsverot tīrību). Tāpēc angļu valodas izteiciens “tīro telpu inženierija” cita starpā ietver “Purification Engineering”, “Clean Engineering” vai “Cleanroom Technology”. Šī plašā nozīme nosaka, ka tīrās telpas inženierijai ir atšķirīga konotācija dažādās disciplīnās.
Mūsdienu tīro telpu inženierija, kuras pamatā ir tīrās telpas tehnoloģija, radās 1950. gados. Korejas kara laikā ASV militārpersonas atklāja, ka putekļu iekļūšanas dēļ daudzi elektroniskie instrumenti bieži nedarbojas, kas pamudināja attīstīt gaisa attīrīšanas tehnoloģiju, jo īpaši augstas -efektivitātes daļiņu gaisa (HEPA) filtru izpēti un pielietošanu. 1961. gadā Viliss Vitfīlds no Sandia National Laboratories ierosināja "laminārās plūsmas" (tagad oficiāli saukta par "vienvirziena plūsmu") tīras gaisa plūsmas organizācijas shēmu, kas ļauj tīrajās telpās sasniegt nepieredzētu tīrības līmeni. Tajā pašā gadā ASV gaisa spēki izdeva pasaulē pirmo tīrās telpas standartu, bet 1963. gadā tika publicēts ASV federālais standarts FED{11}}STD-209, kas iezīmēja tīrās telpas tehnoloģiju sistēmas sākotnējo veidošanu. Pēc tam, strauji attīstoties tādām nozarēm kā integrālās shēmas un biomedicīna, tīrās telpas inženierijas tehnoloģija ir nepārtraukti attīstījusies un attīstījusies.
Ķīnā "Tīras telpas dizaina kodekss" (GBJ 73-84) tika izsludināts 1984. gadā, bet "Tīras telpas būvniecības un pieņemšanas kodekss" (JGJ 71-90) tika izsludināts 1990. gadā. Pēc vairākām pārskatīšanām tika izveidota valsts standarta sistēma ar GB 50073-2013. Starptautiskā mērogā ISO 14644 standartu sērija, ko apkopojusi ISO/TC209 tehniskā komiteja, ir kopīgas vadlīnijas tīrām telpām un ar to saistītai kontrolētai videi. mana valsts ir pieņēmusi šos standartus un ieviesusi tos kā GB/T 25915 sēriju.